生长台尺寸：φ100mm   控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动） 微波电源： MUEGGE  10KW 2.45GHz     真空泵：Leybold D16C  /  KYKY RV-4三相旋片泵 流量计：日本KOFLOC H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm） 腔体冷却方式：水冷 测温：红外测温仪300-1400℃ 机台尺寸：1215mm（长）*1114mm（宽）*2000mm（高） 供电：380V  三相五线 能耗：16kw...